Вакуум — состояние газа (пара) при давлениях ниже атмосферного. Данное понятие применяется только для газа или пара, который заключен в ограниченный объем. Вакуум бывает
-
низким — до 665 Па,
-
средним — до 0,133 Па,
-
высоким — до 1,33 * 10 в минус 5 Па,
-
сверхвысоким — до 1,33 * 10 в минус 10 Па.
Вакуумная техника — это техника, которая способна создавать вакуум, различающийся по своим характеристикам (низкий, средний, высокий, сверхвакуум).
На официальном сайте vacym.com можно познакомиться с полным каталогом оборудования.
Виды вакуумной техники
Вакуум способны создавать различные насосы. Процесс создания вакуума идет путем периодического расширения и сжатия рабочего объема, в котором находится газ. Существуют механические насосы, отличающиеся своими рабочими частями:
-
пластинчато-роторные насосы;
-
пластинчато-статорные насосы;
-
золотниковые насосы.
Данные насосы создают устойчивый, но низкий вакуум. Более глубокий вакуум способны создать пароструйные и паромасляные диффузионные насосы. Хотя для их успешного функционирования все равно нужны механические насосы, которые поддерживают необходимое давление.
Для того чтобы получить сверхвакуум можно использовать
-
ионно-сорбционный насос (быстрота откачки составляет от 1000 до 10 000 л/с; эти насосы вносят меньше загрязнений, чем диффузионные);
-
титановый геттерный насос («геттеры» – пленки химически активных веществ, например бария, которые химически связывают молекулы воздуха, вступающие с ними в контакт; в данном насосе геттерным материалом служит титан; насосы данного типа не нуждаются в ловушках; требуется лишь вращательный насос предварительного разрежения);
-
турбомолекулярный насос (данный насос не вносит ни масляных, ни ртутных загрязнений, но не может работать с выхлопом в атмосферу и нуждается во вспомогательном насосе предварительного разрежения);
-
криогенный насос (в данном насосе используются низкие температуры; он может работать в любом положении и устанавливается без соединительных трубопроводов; он незаменим при откачке больших камер).
Для того, чтобы добиться сверхвысокого вакуума необходимо использовать специальные ловушки, которые будут находиться между насосом и вакуумной камерой.
Диффузионные насосы также относятся к вакуумной технике. Конструкция их может быть разной. Все будет зависеть от области применения данных насосов.